応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
2018年3月17日
〜3月20日
早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
2018年3月17日
〜3月20日
早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場
[17p-P1-3]
ta-C薄膜における深紫外ラマンスペクトル変化の照射温度依存性
〇神津 知己
1
、堀 諒子
1
、山口 誠
1
、川口 雅弘
2
、吉村 雅満
3
(1.秋田大学、2.都立産技研究センター、3.豊田工大)
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キーワード:
ダイヤモンドライクカーボン、深紫外ラマン
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