応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
2018年3月17日
〜3月20日
早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
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2018年第65回応用物理学会春季学術講演会
2018年3月17日
〜3月20日
早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場
[17p-P1-7]
テクスチャ構造SiC 薄膜の光学特性の表面粗さ依存性
〇河村 優樹
1
、成田 克
1
、齊藤 敦
1
、中島 健介
1
、末光 眞希
2
(1.山形大院理工、2.東北大通研)
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キーワード:
炭化ケイ素、表面粗さ、光学特性
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