2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

2018年3月17日〜3月20日早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

2018年3月17日〜3月20日早稲田大学西早稲田キャンパス/ベルサール高田馬場

[17p-P1-7]テクスチャ構造SiC 薄膜の光学特性の表面粗さ依存性

〇河村 優樹1、成田 克1、齊藤 敦1、中島 健介1、末光 眞希2(1.山形大院理工、2.東北大通研)

キーワード:

炭化ケイ素、表面粗さ、光学特性