2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

2019年9月18日〜9月21日北海道大学 札幌キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

2019年9月18日〜9月21日北海道大学 札幌キャンパス

[18a-PA2-4]炭素熱還元を用いたMOD法によるVO2薄膜の作製条件の検討

〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1(1.防衛大電気電子、2.高純度化学研)
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キーワード：

有機金属分解法、二酸化バナジウム、炭素熱還元

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