2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
2019年9月18日〜9月21日北海道大学 札幌キャンパス
2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
2019年9月18日〜9月21日北海道大学 札幌キャンパス
[18a-PA2-7]スンプ法とレーザー描画により製作したマイクロ凹面鏡の集光特性
〇松谷 晃宏1、髙田 綾子2(1.東工大マイクロプロセス、2.東工大バイオ)
キーワード：
バイオチップ、細胞捕獲、スンプ法
我々はこれまでにマイクロピラーアレイ構造のマイクロ囲いで微生物の単一細胞分離及びサイズ分離を実現しているが，この単一細胞分離構造に加えてケーラー照明とマイクロ凹面鏡を利用した細胞捕獲機能も加えることができればその応用範囲が拡がるものと考えている．前回はXeF2気相エッチングによりSi基板にマイクロ凹面鏡を製作して細胞の捕獲を試みたが，エッチングに起因する表面粗さが光の散乱を生じさせていた．今回はスンプ法とレーザー描画を用いてセルロイド板にマイクロ凹面鏡を製作したのでその集光特性について報告する．