2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

2019年3月9日〜3月12日東京工業大学 大岡山キャンパス
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

2019年3月9日〜3月12日東京工業大学 大岡山キャンパス

[11p-PA1-12]陽極酸化法による酸化タンタルナノ構造の作製

〇餅越 葵1、関山 早紀1、伊東 千尋1(1.和歌山大システム工)

キーワード:

タンタル酸化物

金属を陽極酸化することでナノ構造体を作製できる技術を用い、半導体としての利用価値が高く、光触媒としても利用が期待されるタンタル酸化物(Ta2O5)のナノ構造体を作製を試みた。結果、直径50nm、長さ10μmのチューブ状のナノ構造が得られた。