応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
2019年3月9日
〜3月12日
東京工業大学 大岡山キャンパス
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2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
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2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
2019年3月9日
〜3月12日
東京工業大学 大岡山キャンパス
[11p-PA1-12]
陽極酸化法による酸化タンタルナノ構造の作製
〇餅越 葵
1
、関山 早紀
1
、伊東 千尋
1
(1.和歌山大システム工)
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キーワード:
タンタル酸化物
金属を陽極酸化することでナノ構造体を作製できる技術を用い、半導体としての利用価値が高く、光触媒としても利用が期待されるタンタル酸化物(Ta
2
O
5
)のナノ構造体を作製を試みた。結果、直径50nm、長さ10μmのチューブ状のナノ構造が得られた。
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