[9p-Z22-8]電界駆動型流体制御技術の検討
〇森朝 崇文1、草野 雄一1、志柿 雅彦1、川田 秋一1、髙田 隆裕1(1.村田製作所)
キーワード:
流体、電気化学
電気浸透流は、液体の流動を低電界で誘起でき、電界駆動のため無脈動という利点も有すると考えられる。今回、電気浸透流デバイスを作製し、低電界での液体流動誘起現象の詳細を調査した。12V印加時の発生流量は、約100µL/minで時間変動は見られず、脈動は確認されなかった。また、電圧と流量の間に比例関係が存在し、4V印加時の発生流量は12µL/minであった。電気浸透流現象により、脈動のない液体の流動を低電界で誘起可能なことが確認された。
