2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
2021年9月10日〜9月27日オンライン開催
2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
2021年9月10日〜9月27日オンライン開催
[21a-P02-7]液体金属，金，アルミニウムを各ショットキー電極とするダイオードの電気的特性の比較
〇内田 竣也1、熊谷 昌城1、内海 淳志1(1.舞鶴高専)
キーワード：
ダイオード、液体金属、ショットキー電極
我々は，特別な製造装置を使用せず，かつ短時間で作製できる半導体デバイスの実現を目指し，現在は液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．今回，裏面電極に液体金属を使用し，表面電極に金，アルミニウムを蒸着，スパッタしたものと液体金属を塗布して作製したダイオードの特性の比較を行ったのでその結果を報告する．