2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

2021年3月16日〜3月19日オンライン開催
戻る
応用物理学会春季・秋季学術講演会
2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

2021年3月16日〜3月19日オンライン開催

[16a-P04-3]MOD法により製作したV0.75Ti0.25O2マイクロボロメータ素子の特性評価

〇藤城 雄飛1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1(1.防衛大　電気電子、2.高純度化学研)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

MOD法、V0.75Ti0.25O2薄膜、ボロメータ素子

戻る