2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日〜3月19日オンライン開催
2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日〜3月19日オンライン開催
[17a-Z04-10]バイアス電圧で動作するAg2S系コンデンサ型熱スイッチの開発
〇丸地 智也1、平田 圭佑1、松波 雅治1、竹内 恒博1(1.豊田工業大学)
キーワード：
熱スイッチ、格子熱伝導度、電子熱伝導度
小さな格子熱伝導度（0.5 Wm-1K-1）を持つ縮退半導体Ag2S0.6Se0.4を用いて，バイアス電圧によって電子熱伝導度を変化させるコンデンサ型熱スイッチを開発した．下部電極としてp型Si基盤を用いた．絶縁相としてAg2S，あるいは，SiO2を用いた．バイアス電圧の印加により素子を流れる熱流が大きくなることを確認した．