応用物理学会春季・秋季学術講演会
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2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日
〜3月19日
オンライン開催
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2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
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2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日
〜3月19日
オンライン開催
[17a-Z04-2]
YH
3
を用いたFET の作製及びその電気的特性の評価
〇(M2)藤野 哲也
1
、タチャラート ヨドキッティ
1
、徳田 正秀
1
、中村 修
2
、酒井 政道
3
、花尻 達郎
1
(1.東洋大、2.岡山理科大、3.埼大)
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キーワード:
半導体
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