応用物理学会春季・秋季学術講演会

CVD プロセスを使用せずにSiC をリサイクルする新しい方法を開発したが、SiC 表面のフロ
ロカーボン膜中に金属残留物が残り、RIE 処理後、ウエハー上に付着する問題が発生している。そのため、SiC表面を酸化し、フッ化水素酸洗浄で酸化膜を除去することで、同時に金属残留物も除去できる。