2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日〜3月19日オンライン開催
2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
2021年3月16日〜3月19日オンライン開催
[19a-P03-9]液体金属を用いたショットキーバリヤダイオード作製実験の実施
〇内田 竣也1、萩原 隆仁1、内海 淳志1(1.舞鶴高専)
キーワード：
作製実験、ダイオード、液体金属
特別な製造装置を使用せず，かつ短時間で作製できる半導体デバイスの実現を目指し，現在は液体金属を用いたショットキーバリヤダイオードの実験用教材を開発している．今回は，開発した実験教材を舞鶴高専の専攻科特別実験におけるショットキーバリヤダイオードの作製実験に適用し，実験実施前後に半導体の理解度に関するアンケートを実施したので，その結果を報告する．