2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

2022年9月20日〜10月17日東北大学 川内北キャンパス
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応用物理学会春季・秋季学術講演会
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

2022年9月20日〜10月17日東北大学 川内北キャンパス

[20a-P01-1]Si異方性エッチングによる超高周波デュアルチャンネル無線QCM製作プロセスの基礎検討

〇篠原 淳希1、吉野 学1、加藤 史仁1(1.日工大)
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キーワード：

水晶振動子マイクロバランス、超高周波、デュアルチャンネル

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