応用物理学会春季・秋季学術講演会

センサを用いたガス測定では、検知対象となるガスが微量であるために、SN比が低い測定結果しか得られないことがある。本研究では、試料ガスの導入（サンプリング）とキャリアガスの導入（パージ）を交互に繰り返し行うことにより、得られたセンサシグナルからSN比を向上させた測定結果を得ることができることを解析的に示すとともに、膜型表面応力センサ（MSS）を用いた測定により実験的に示した。