応用物理学会春季・秋季学術講演会

金属-酸化物界面は、電極-デバイス材料界面における動作電圧・消費電力の制御や、耐熱性コーティングの界面濡れ性など、様々な場面で重要である。金属と酸化物の界面は、同一材料間の界面においても、金属と結合するのが酸化物中の酸素原子か酸化物構成金属かの２種類の結合が可能で、どちらが熱力学的に安定かを予測する汎用的方法を開発し公開してきた。今回、界面反応を伴う場合の予測方法を開発し実装したので報告する。