2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
2022年9月20日〜10月17日東北大学 川内北キャンパス
2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
2022年9月20日〜10月17日東北大学 川内北キャンパス
[21p-A301-7]ALD法によるAl2O3ナノ構造を利用した白金ナノ構造の試作と評価
〇禹 泰圭1、辻 祐樹1、林 翔平1、前田 讓治1、板谷 太郎2、天野 建2(1.東理大 理工、2.産総研)
キーワード：
原子層堆積法、ナノ構造、白金
近年、原子層堆積法により成膜したAl2O3膜を熱水処理することでナノ構造が形成されることが報告されている。本研究では、得られたAl2O3のナノ構造のサンプル上に、ALD法により白金を成膜し、表面に白金を有するナノ構造の試作と評価を行った。ナノ構造の高さは約270nm、構造寸法は300nm程度であり、Al2O3のナノ構造と、ほぼ同等であることが確認され、高効率な触媒などへの応用が期待される。