応用物理学会春季・秋季学術講演会

ポジ型電子線レジストSMLは現像やベーク等、従来型のPMMAと類似のプロセスパラメーターを持ち、解像度は同等以上と報告されている。一方で、感度はZEP520Aレジストと比較して5分の1程度と非常に低いことが報告されている。本報告ではSMLの感度の上昇のため、露光前のSMLレジスト表面に酸素プラズマ処理をして、その増感効果の有無を検証した。