2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
2022年3月22日〜4月18日青山学院大学 相模原キャンパス + オンライン
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[22a-P01-7]スパッタ法により作製したAu薄膜の表面プラズモン共鳴
〇山田 靖幸1、手塚 潤1、小山 智大1(1.小山高専)
キーワード：
sputtering method、surface plasmon resonance、Au thin film
本研究では，将来的に酸化物半導体等の薄膜との組み合わせによるデバイス作製を想定し，簡便なAu薄膜作製法であるスパッタ法に着目し，半透明なAu薄膜の作製を行った．Au薄膜は，サンユー電子(株)製のクイックコーターSC-701を用いたスパッタ法により作製した．スパッタレートより推測される膜厚が2 ～ 3 nmのとき，おおよそ600 ～ 800 nmの範囲において，大きな透過率の減少傾向が見られた．これは表面プラズモンの影響と推測される．