2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
2022年3月22日〜4月18日青山学院大学 相模原キャンパス + オンライン
2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
2022年3月22日〜4月18日青山学院大学 相模原キャンパス + オンライン
[24p-D316-1][第22回業績賞（研究業績）受賞記念講演] MEMS技術の発展と産業展開への貢献
〇江刺 正喜1(1.東北大学)
キーワード：
MEMS、センサ、マイクロシステム
集積回路に用いられる半導体微細加工に多様な技術を組み合わせた、MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) やマイクロシステムと呼ばれる技術は、センサのようなシステムの鍵を握る要素として使われている。半世紀ほど関わってきたMEMSに関して、特にパッケージングやLSIとの集積化、その産業展開について述べる。