[15a-A501-3] Inverse Design of High-Q SiN Photonic Crystal Cavities | 2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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2023年3月15日〜4月11日上智大学四谷キャンパス+オンライン

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[15a-A501-3]Inverse Design of High-Q SiN Photonic Crystal Cavities

〇(B)Peter Aubrey Heidt¹、Masato Takiguchi^1,2、Hisashi Sumikura^1,2、Akihiko Shinya^1,2、Masaya Notomi^1,2,3(1.NTT BRL、2.NTT Nanophotonics、3.Tokyo Tech)

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In this work, we use Legume and a novel implementation of finite element method (FEM) with parallel simplex algorithm (PSA) to inversely design a series of Lx-type SiN PhC cavities, and present the first ever Lx-type cavity in SiN (n = 2.0) with Q greater than one million. This record Q exceeds the highest previously reported Q in a SiN Lx-type PhC cavity by 2 orders of magnitude with 30% smaller mode volume (V).

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