2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
2023年3月15日〜4月11日上智大学 四谷キャンパス+オンライン
2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
2023年3月15日〜4月11日上智大学 四谷キャンパス+オンライン
[18a-D215-3]0.18 µm BCDプロセスを用いたウェアラブル発汗量計の開発
〇山本 歩1、加賀 悠太1、麻生 知宏1、黒木 伸一郎2、百瀬 英哉3、上口 光1(1.信州大、2.広島大、3.株式会社スキノス)
キーワード：
発汗量計、ウェアラブルデバイス、マイクロ流路
日常生活の発汗量計測のために、ICチップとフレキシブル基板、マイクロ流路を独自設計し、ウェアラブル発汗量計測システムを開発した。相対湿度計測回路、温度計測回路、MEMSブロワ駆動回路、通信制御回路を0.18 µm BCDプロセスを用いて一つのICに集積化した。相対湿度計測回路では従来のものより約250倍高い精度を実現した。作成したシステムは20mm×40mmのフレキシブル基板に実装され、実測により発汗量計の機能を満たすことを確認した。