粉体粉末冶金協会講演大会

粉体粉末冶金協会平成30年度春季大会（第121回講演大会）

2018年5月14日〜5月16日京都大学百周年時計台記念館

粉体粉末冶金協会講演大会

粉体粉末冶金協会平成30年度春季大会（第121回講演大会）

2018年5月14日〜5月16日京都大学百周年時計台記念館

[2-25]招待講演：反応性プラズマを援用したセラミックス材料のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術の開発

*山村和也¹(1. 大阪大学大学院工学研究科)

キーワード：

機能性セラミックス、反応性プラズマ、単結晶SiC、単結晶GaN、反応焼結SiC、プラズマCVM、プラズマ援用研磨