粉体粉末冶金協会講演大会
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
2019年10月22日
〜10月24日
名古屋大学 豊田講堂
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
2019年10月22日
〜10月24日
名古屋大学 豊田講堂
[2-14A]
圧電薄膜デバイスを用いた高感度においセンサ
*恩田 陽介
1
、服部 将志
1
、岩崎 誉志紀
1
、下舞 賢一
1
、藤井 徹
1
、岸 弘志
1
(1. 太陽誘電株式会社)
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キーワード:
においセンサ、圧電薄膜デバイス、共振器
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