粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

2019年10月22日〜10月24日名古屋大学 豊田講堂
粉体粉末冶金協会講演大会
粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

2019年10月22日〜10月24日名古屋大学 豊田講堂

[2-14A]圧電薄膜デバイスを用いた高感度においセンサ

*恩田 陽介1、服部 将志1、岩崎 誉志紀1、下舞 賢一1、藤井 徹1、岸 弘志1(1. 太陽誘電株式会社)

キーワード:

においセンサ、圧電薄膜デバイス、共振器