粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

2019年10月22日〜10月24日名古屋大学 豊田講堂
粉体粉末冶金協会講演大会
粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)

2019年10月22日〜10月24日名古屋大学 豊田講堂

[2-16]招待講演:5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料

*柳谷 隆彦1,2,3(1. 早稲田大学、2. JSTさきがけ、3. 材料研究所)

キーワード:

周波数フィルタ、圧電薄膜共振子フィルタ、ScAlN