粉体粉末冶金協会講演大会
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
2019年10月22日
〜10月24日
名古屋大学 豊田講堂
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
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粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会(第124回講演大会)
2019年10月22日
〜10月24日
名古屋大学 豊田講堂
[2-16]
招待講演:5Gのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料
*柳谷 隆彦
1,2,3
(1. 早稲田大学、2. JSTさきがけ、3. 材料研究所)
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キーワード:
周波数フィルタ、圧電薄膜共振子フィルタ、ScAlN
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