粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会（第132回講演大会）

粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会（第132回講演大会）

2023年10月19日〜10月20日同志社大学　寒梅館
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粉体粉末冶金協会講演大会
粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会（第132回講演大会）

粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会（第132回講演大会）

2023年10月19日〜10月20日同志社大学　寒梅館

[2-23B]機械学習を用いた薄膜成膜条件の最適化手法の検討

*中村 勇作1、浜本 貴樹1、中川 裕樹1、田中 邦明1、谷口 眞司1、下舞 賢一1、岩崎 誉志紀1(1. 太陽誘電株式会社)

キーワード：

機械学習、薄膜、成膜、SiOF、温度補償膜

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