粉体粉末冶金協会2024年度秋季大会（第134回講演大会）
2024年11月19日〜11月21日朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター
粉体粉末冶金協会2024年度秋季大会（第134回講演大会）
2024年11月19日〜11月21日朱鷺メッセ 新潟コンベンションセンター
[2-22A]AD成膜プロセスにおける膜形成初期および成長過程に関する考察 《合成, 物性》
*池端 杏樹1、河村 剛1、松田 厚範1、藤田 直幸2、感本 広文3、Tan Wai Kian1、武藤 浩行1(1. 豊橋技術科学大学、2. 奈良高等専門学校、3. 静岡理工科大学）（※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。)
キーワード：
エアロゾルデポジッション法、複合粒子、有限要素法、静電吸着複合法