2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年11月19日〜11月21日オンライン開催
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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催

[1Ea04]アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積に対するベンゼン供給位置の影響

○篠原正典1)，佐々本凌1)(1)福岡大工)
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