2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年11月19日〜11月21日オンライン開催
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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催

[1Ea05Y]高密度収束プラズマスパッタリング装置を用いた室温窒化ガリウム成膜の窒素ガス流量比依存性

○本村大成1)，田原竜夫1)，藤尾侑輝1)，奥山哲也2)(1)産総研センシングシステム研究センター ，2)久留米工業高専材料システム工)
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