2020年日本表面真空学会学術講演会

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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催
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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催

[1Ea08]負のプラズマ電位を持つ直流マグネトロンスパッタリング放電の構造

○草野英二1)(1)金沢工大高信頼理工学研究センター)
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