2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年11月19日〜11月21日オンライン開催
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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催

[1Ea09]高周波マグネトロンスパッタにおけるチタン薄膜の結晶配向と成膜時の基板位置の関係

○後藤康仁1)，佐藤嶺1)(1)京大)
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