2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年日本表面真空学会学術講演会

2020年11月19日〜11月21日オンライン開催
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2020年11月19日〜11月21日オンライン開催

[1Ea10]斜入射反応性スパッタリング法による微細構造化TiN薄膜の作製

溝口貴大1)，中山佳之2)，○井上泰志1,2)，高井治3)(1)千葉工大工，2)千葉工大院工，3)関東学院大材料・表面工学研)
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