2021年日本表面真空学会学術講演会

2021年日本表面真空学会学術講演会

2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
2021年日本表面真空学会学術講演会

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2021年11月3日〜11月5日オンライン開催

[1Aa01]阻止電場型電子エネルギー分析器と光電子ホログラフィー

*松下 智裕1(1. 奈良先端科学技術大学院大学)
光電子ホログラフィーはXPSと関連する測定法であり、内殻準位それぞれの化学状態の立体原子配列が得られる。測定可能となる原子配列は、結晶中のドーパント、埋もれた界面など。光電子を広い立体角で測定をするため、阻止電場型電子エネルギー分析器を開発した。高いエネルギー分解を持ちつつ、約±50°の広い立体角を測定できる。また、データの解析理論の研究も進めてきた。これらの装置、理論、応用例について紹介する。