2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
[1Ap02]実験室系硬X線光電子分光法の展開
西原 達平1、町田 雅武2、安野 聡3、*小椋 厚志1,4(1. 明治大学、2. シエンタオミクロン(株)、3. JASR、4. 明治大学再生可能エネルギー研究インスティテュート)
デバイス性能を決定づける埋もれた界面の評価手法として、従来の光電子分光法よりも高いエネルギーのX線を使用した硬X線光電子分光法(HAXPES)が注目されている。特に近年、実験室ベースのLab. HAXPESが開発され広く利用されつつある。励起光源に液体GaKaを使用し、安定した高強度を確保している。本発表では、Lab. HAXPESを用いた実測測定事例今後の展望について述べる。