日本表面真空学会学術講演会
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2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日
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[1Ap04]
実働環境下におけるXPS計測
*増田 卓也
1
(1. 物質・材料研究機構)
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汎用的な実験室型装置を基盤として、環境セル、電圧印加モジュール、大気非曝露試料搬送容器を具備した革新的なXPS測定システムを開発し、液体および固液・固固界面のその場観察を実現した。液体試料の定量測定や固体電解質上に析出したシリコン電極へのリチウム脱挿入観察といった応用事例について紹介する。
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