2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
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2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
[1Ap09]XPSデータセットにおけるピーク分離および解析の現状とその課題
*原田 善之1、角谷 正友1、篠塚 寛志1、登坂 弘明1、吉川 英樹1、田沼 繁夫1(1. 国立研究開発法人 物質・材料研究機構)
NIMS-DPFCのRDEデータセットに登録されている、GaN初期酸化過程のように、データセット多数XPSスペクトルの解析について、スペクトル群をデータセット化し、データセットに対して自動解析を試みた。スペクトル解析には、BIC解析法をはじめ、主成分分析かターゲット変換を行う2種類の方法を試みている。これら解析結果からGaN、各面、各ガス種による酸化傾向について報告する。