2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
2021年日本表面真空学会学術講演会
2021年11月3日〜11月5日オンライン開催
[1Ap13]ISO/TC 201における表面化学分析の標準化動向
－ISO/TC 201/SC 4 およびSC 7での活動を中心に－
*永富 隆清1(1. 旭化成株式会社 基盤技術研究所)
表⾯化学分析に関する国際規格を取り扱っている国際標準化機構（ISO）第201技術委員会（ISO/TC 201）における最近の標準化活動の動向に関して，発表者が主に関わっている第4小委員会（SC 4: Depth profiling）と第7小委員会（SC 7: Electron spectroscopy）の活動を中心に紹介する．