SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
[P-02]Change of electrical characteristics of a p-type MOSFET via hydrogen effect on boron redistribution
*Youngrok Kim1, Chihak Ahn2, Alexander Schmidt1, Joohyun Jeon1, Sae-Jin Kim1, Hakseon Kim1, Hyunjae Kim1, Hyeyoung Kwon1, Yero Lee1, Sung Jin Kim1, Dongjin Lee1, Jaeduk Lee1, Dae Sin Kim1(1. Samsung Electronics Co., Ltd., 2. Samsung Semiconductor Inc.)