SISPAD2023

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2023年9月26日〜9月29日
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2023年9月26日〜9月29日

[P-03]Molecular Dynamics Study of Al Implantation in 4H-SiC

Sabine Leroch1, *Robert Stella1, Andreas Hössinger2, Lado Filipovic1(1. University of Technology Vienna, 2. Silvaco Ldt Europe)
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