SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
[Session_3-02]Next Generation Gate-all-around Device Design for Continued Scaling Beyond 2nm Logic Node
*Pratik B Vyas1, Charisse Zhao1, Sefa Dag1, Ashish Pal1, El Mehdi Bazizi1, Buvna Ayyagari-Sangamalli1(1. Applied Materials Inc)