SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
[Session_4-01]Physics-Informed Compact Model for SF6/O2 Plasma Etching
*Lado Filipovic1, Josip Bobinac2, Julius Piso2, Tobias Reiter1(1. CDL for Process Modeling of Semiconductor Based Devices and Sensors at the Institute for Microelectronics, TU Wien, 2. Institute for Microelectronics, TU Wien)