SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
[Session_5-04]Theoretical Limit of TiSi2 Contact Resistance
*Min Yong Jeong1, Mohammad Ali Pourghaderi1, Kantawong Vuttivorakulchai1, Seunghyun Song1, Yoon-Suk Kim1, Márton Vörös2, Seonghoon Jin2, Byounghak Lee2, Woosung Choi2, Uihui Kwon1, Dae Sin Kim1(1. Samsung Electronics Co., Ltd., 2. Device Laboratory Samsung Semiconductor Inc.)