SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
SISPAD2023
2023年9月26日〜9月29日
[Session_7-01]【Invited】Quantum Mechanical Modeling Techniques for High-Performance Low-k Amorphous Material Engineering: a Showcase for aBN
Blanka Magyari-Köpe1, Hans Hsu2, *Jeff Wu2(1. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Technology Inc., San Jose, CA, USA, 2. Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd., Hsinchu, TW)