Presentation Information
[3C12]アトマイズAl-Si合金粉末の酸エッチングによる多孔質シリコンのスケーラブル合成
*Hiroyuki Kawaura1, Ryo Suzuki1, Naoyuki Nagasako1, Keiichiro Oh-ishi1 (1. Toyota Central R&D Labs., Inc.)
Keywords:
Porous silicon,Acid etching,Atomized Al-Si alloy powder
Porous silicon,Acid etching,Atomized Al-Si alloy powder