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[100205-14-09]液相中でのSiO2 コーティング技術および微細部品向け保護膜としての応用

○米澤 岳洋1 (1. 三菱マテリアル(株)中央研究所 成膜・表面領域)
司会:高原 敏之(日鉄鉱業(株))