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[128]HPT加工を施したバルクナノ結晶粒SiGeの高分解能TEM観察

*IKOMA Yoshifumi1, YAMASAKI Terumasa1, SHIMIZU Takahiro1, HORITA Zenji1,2,3, ARAI Yasutomo4, McCartney R. Martha5, Smith J. David5 (1. 九大工、2. 九工大工、3. 佐賀大SLC、4. JAXA、5. Arizona State University)

Keywords:

巨大ひずみ加工,high-pressure torsion,SiGe,HRTEM,準安定相

単結晶SiGeにHPT加工を施して得られたバルクナノ結晶粒SiGeについて、高分解能TEMによる微細組織観察を行った。HPT加工後はダイヤモンド構造と準安定相でbc8構造を有するナノ結晶粒が観察された。