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10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[375]酸素ポンプ・センサを用いたSiC高温酸化挙動の解析

*FUKUMOTO Michihisa¹, Kato Kimiyasu², Hara Motoi¹ (1. 秋田大院　理工、2. 秋田大院　理工(院生))

高温酸化,SiC,酸素ポンプ・センサ,酸化速度

SiCの高温酸化挙動を酸素ポンプ・センサーを用いて調査した。その結果，昇温過程においてSiO₂の変態に伴う酸化速度の変化を観察することができた。また，SiO₂の揮発を観察することができた。