[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[421] CrSiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響

*SAKURAI Akihiko¹, TAKEMOTO Kanta², TSUCHIYA Taiki¹, LEE Seung¹, MATSUDA Kenji¹, IKENO Susumu³, NOSE Masateru³ (1. 富山大、2. 富山大（現：三協立山株式会社）、3. 富山大学名誉教授)

Keywords:

CrSiCN,複合膜,熱処理,SiC

反応スパッタ法により作製されたCrSiCN複合膜が30GPa～40GPa程度の硬さを示し,CrN膜よりも高い耐酸化性を有することを報告した.そこで,本研究では熱処理がCrSiCN複合膜の機械的性質や構造に及ぼす影響を調査した.