Presentation Information

[P149]Cr-Si合金を用いたSiC溶液成長時の結晶中窒素濃度

*HACHINODA SHOGO1, KAWANISHI SAKIKO2, SHIBATA HIROYUKI2 (1. 東北大院生、2. 東北大多元研)

Keywords:

SiC,結晶成長,溶液成長,窒素濃度

SiCの溶液成長に一般的に用いられる溶媒系であるCr-Si合金を用いた際のSiC結晶中の窒素濃度を調査し、溶媒組成および成長温度の影響を評価した。