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[P37]ZnO薄膜への遷移金属の添加による光学的・電気的特性の改善

*KOIDE Takumi1, Yamane Haruki2, Kobayashi Masanobu1 (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

Keywords:

ZnO,Ti,V

ITOの代替材料として注目されているZnOをベースに遷移金属を添加した際の光学的・電気的性質の変化を検討している。