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12:30 PM - 2:30 PM JST(3:30 AM - 5:30 AM UTC)

[P55]高強度Ni-Wナノ結晶/アモルファス電析合金を用いたマイクロギアの作製

*HOKAZONO Haruki¹, Utsumi Yuichi³, Yamasaki Tohru² (1. 兵庫県立大工（院生）、2. 兵庫県立大工、3. 兵庫県立大高度研)

nanocrystalline,amorphous,Ni-W,LIGA process,electrodeposition

精密小型機器の分野において、高強度Ni-W合金を用いて、実用化が可能なマイクロ部材を開発することを目的とし、金属製マイクロギアを作製した。それら部材の寸法精度や材料強度等の評価を行った。